漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂6. 调试案例

 

漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂6. 调试案例

某新建 12 英寸晶圆厂超纯水项目，漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂系统分三阶段洁净调试。第一阶段装填调试：树脂预处理转型后湿法装填，控制装填密度 0.68g/cm³，超纯水正洗至电导率＜0.08μS/cm。第二阶段运行参数调试：流速 15–20m/h 梯度测试，确定 18m/h 为最优流速；温度 20–25℃验证，23℃时漂莱特PUROLITE UCW3700 树脂交换效率最高、TOC 溶出最低。第三阶段再生参数调试：测试 3%–5% NaOH+HCl 浓度、2–4m/h 流速，确定 4% 浓度、3m/h 流速为最优。调试中解决树脂偏流、TOC 超标问题，最终出水 18.2MΩ・cm、TOC＜20μg/L，连续 72h 试运行稳定，满足晶圆厂超纯水设计指标。